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제품소개

Mass Flow Meter/Controller (MFC/MFM)

LOW-△P-FLOW

  • 낮은 차압에서 사용 가능하며, 부식성 가스에 특화된 내부 구조 및 센서를 가지고 있습니다.

    * 유량범위는 N2 기준 0 ~ 10 sccm 부터 0 ~ 60 slpm 까지 사용 가능 합니다.